
박막 두께 계측 기술은 50년 전 정립된 기술이 큰 틀의 변화 없이 사용되고 있어 미세화된 반도체 공정과의 간극이 크다”며 “마이크로 엘립소메트리라는 새로운 기술로 글로벌 기업과 경쟁할 수 있는 명실상부한 한국 대표 계측장비 기업으로 성장하겠다”고 밝혔다.이번 투자를 진행한 정인오 파트너스라운지 파트너는 “헬리오스는 검증된 연구 성과를 바탕으로 기존 장비의
이블탑 계측 장비 출시를 목표로 제품 완성도를 높이고, 국제 특허 출원을 통해 기술적 해자를 구축해나갈 계획이다.헬리오스는 인하대학교 물리학과 유석재 교수가 지난해 12월 창업한 대학 스핀오프 스타트업이다. 유 대표는 인하대 물리학과 연구실에서 다년간 축적한 광학 계측 원천기술을 바탕으로 사업화에 나섰다.헬리오스가 개발 중인 솔루션은 반도체 웨이퍼 위에 쌓
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